苏州雷克斯光电科技有限公司--LUXOPTO
• 紧凑的设计实现最小的占地空间
• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计，极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准
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光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | ||
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显微镜镜体 |
Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 μm） 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构 | ||
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照明系统 |
BX-KMA 明视场照明器 |
BX-RLA2 明视场/暗视场照明器 | |
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观察方式转换 |
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明视场-暗视场滑块转换法 | |
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可适用观测模式 |
①明视场法 ②DIC微分干涉衬比法 ③偏振光照明法 |
①明视场法 ②暗视场法 ③DIC微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤红外光 | |
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光源 |
6V30W瓦卤素灯 灯座: U-LS30-4 变压器: TL-4 |
12V100W瓦卤素灯 灯座: U-LH100L-3 电源整合在MX51显微镜中 | |
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透射照明 |
明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用） | ||
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观察镜筒 |
U-BI30-2 宽场双目镜筒， U-TR30-2 宽场三目镜筒， U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22)，U-SWTR 超宽场三目镜筒，MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) | ||
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物镜换镜转盘 |
U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽) | ||
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载物台 |
U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台 MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台 | ||
