苏州雷克斯光电科技有限公司--LUXOPTO
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行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
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测量精度 |
XY轴 |
E2=(2.0+L/300)µm |
E2=(2.5+L/300)µm |
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Z轴 |
E1=(5.0+L/200)µm |
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◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制； ◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统； ◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用； ◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头； ◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好； ◆ Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量； ◆ 全自动影像测量软件； |
● 光学系统：Navitar 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 ● 运动控制：自主专利的CNC直流伺服系统 ● 光栅尺：Renishaw光栅尺，0.4µm分辨率 ● CCD：SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 ● 轮廓光：LED冷光源，256级亮度可调 表面光：6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 同轴光：LED冷光源，256级亮度可调 |
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