运动行程(mm)

150X100

200X100

250X150

300X200

400X300

金属台尺寸(mm)

354X228

404X228

450X280

500X330

606X466

玻璃台尺寸(mm)

210X160

260X160

306X196

350X250

450X350

● X、Y坐标示值误差：(3+L/75) μm (L为被测长度，单位：mm)

● X、Y、Z数显解析度：0.5μm

● Z轴升降行程：150 mm

● 光源：表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

● 摄像机：进口彩色1/2〞CCD摄像机

● 变倍镜头：美国NAVITAR变倍镜头/带同轴光变倍镜头

● 变倍镜头倍率：0.7X-4.5X

● 视频倍率：23.5X-148X

● 物方视场：11.1mm-1.7mm (物方视场为对角线的长度)