Leica DM 12000M
用于12”精密的观察和复检系统 Leica DM12000 M
● 徕卡DM12000M全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV, 倾斜紫外观察模式), 不单提升了分辨率还提高了检查12英寸(300毫米)硅片的产能 。 ● 最新的 LED 照明技术 ,一体化设计并整合在显微镜上,低热辐射和机身内一体化技术确保了最理想的机身外空气流动状态。低能耗的节电设计大大延长了使用寿命,符合绿色环保的理念。 ● 一键式的操控设计使用户可以轻易地完成倍率转换和相关的照明和相衬效果。
技术参数: ● 高级智能数字式正置金相显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品的观察分析,多种安全设计,保护晶圆、镜头及观察者 ● 模块化设计,可实现反射观察、透反射观察配置 ● 复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径 ● 可选配UV光源,提高观察分辨率至亚微米结构,UV由大功率LED产生,具有UV和OUV功能 ● 12×12大样品台,可实现8”晶圆的直接观察 ● 6孔位电动物镜转盘,配接32mm直径长工作距离工业物镜 ● 内置电动或手动调焦系统 ● 独有0.7X宏观物镜,具有宏观晶圆检查功能 ● 可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明观察方式 ● 机身内置LED透、反射照明电源,智能光强变化的控制照明方式 ● 能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速 ● 机座配触摸按钮,控制显微镜的操作 ● 光强、光阑、观察方式调节和聚光镜调节除可由按键控制外,还可由计算机控制操作,并自动在不同倍数物镜下拍的照片中加相应倍数标尺 ● 具有色温恒定系统,提高工作效率 ● 可配接摄像头、数码相机进行图像采集、分析、测量 ● 可配接荧光观察、高温热台、阴极发光仪、光度计 ● 可配接自动扫描台进行多视场非金属夹杂物和颗粒粒度、清洁度分析 |