◆ 无限远光学系统

◆ 长工作距离平场复消色差物镜2X、5X、10X、20X、50X

◆ X、Y移动平台尺寸可定制，可作电动

◆ Z轴可加装精密千分表，实现Z轴高度测量

◆ 同轴粗微调焦机构，微动格值0.002mm

◆ 照明系统：150W冷光源光纤反射照明器

◆ 三维测量系统：分辨率:  1μm

                                测量精度:  ±(2+L/200)μm

                                重复定位精度:  2μm